산업부 '탄화규소(SiC) 고효율 전력반도체 기판분석 기반조성' 사업 수주

- 사업 책임자: 이호준 교수

- 사업 규모: 4년간 총 140억원 규모

- 관련 기사 링크: https://www.sedaily.com/article/20039884?ref=naver

부산대학교 반도체공동연구소는 산업통상자원부의 「탄화규소(SiC) 고효율 전력반도체 기판분석 기반조성」 사업을 수주하며, 차세대 전력반도체 핵심 기술 고도화와 분석 기반 구축에 본격적으로 나선다. 본 사업은 부산테크노파크 전력반도체센터와 공동으로 수행되며, 과제책임자는 부산대학교 이호준 교수가 맡는다. 이를 통해 대학의 반도체 연구 역량과 지역 전력반도체 산업 지원 인프라를 연계한 산학연 협력 기반이 한층 강화될 것으로 기대된다.

탄화규소(SiC) 전력반도체는 기존 실리콘 반도체 대비 고전압, 고온, 고효율 특성이 우수해 전기차, 신재생에너지, 전력변환장치, 항공·우주, 방산 등 미래 모빌리티 및 에너지 산업의 핵심 소자로 주목받고 있다.

해당 사업은 인공지능 기반 첨단 분석기법을 활용하여 SiC 반도체 기판의 결함과 불순물을 정밀하게 분석하고, 공정 과정에서 발생하는 물성 변화와 제작된 소자의 성능 간 상관관계를 체계적으로 규명하는 것을 주요 목표로 한다. 특히 반도체 기판 분석, 불순물 검출, 공정 조건 최적화, 소자 제작 및 전기적 특성 평가를 연계함으로써 소재·공정·소자 전 주기를 아우르는 고도화된 분석 플랫폼을 구축할 계획이다.

본 사업에서 도입하는 인공지능 기반 첨단 기법은 단순한 분석 자동화를 넘어, 반도체 연구의 첨단화와 기초 연구 가속화를 위한 핵심 전략으로 활용된다. PIML, 디지털 트윈, 데이터 기반 공정 예측 및 최적화 기술 등을 통해 복잡한 공정 변수와 소자 성능 간의 관계를 정밀하게 해석하고, 실험·공정·측정 데이터를 지능적으로 연결함으로써 연구 효율성과 재현성을 높일 수 있다. 이는 부산대학교 반도체공동연구소가 지향하는 인공지능 시대의 첨단 반도체 연구 방향과도 맥을 같이한다.

이번 사업 수주는 부산대학교 반도체공동연구소가 보유한 반도체 분석·공정·소자 평가 역량을 바탕으로 지역 전력반도체 산업 생태계와 연계한 개방형 연구 기반을 강화한다는 점에서 의미가 크다. 향후 연구소는 부산테크노파크 전력반도체센터를 비롯한 산학연 협력체계와 함께 SiC 전력반도체 분야의 기술 경쟁력을 높이고, 미래 모빌리티 반도체 및 고효율 에너지 반도체 분야의 전문 인재 양성에도 기여할 계획이다.