◎ 교육지원실 : 반도체 분야 전문 인력 양성을 위한 이론 및 실습 교육 프로그램 개발 및 추진 부서.
◎ 연구지원실 : 반도체 재료/공정, 소자/회로, 센서/시스템, 인공지능 기술 등을 아우르는 첨단 반도체 연구 과제기획 및 산학협력 추진 부서.
◎ 장비지원실 : 장비의 설치·운영·관리, 교육지원 및 연구지원 전반에 관한 사항과 안전관리 담당 부서.
◎ 행정실 : 학부 및 대학원 교육 프로그램 관리, 재정지원사업비 및 연구비 관리 등의 행정전반의 업무 담당 부서.
● 운영위원회 : 연구소 운영 전반에 관한 주요 사항을 심의 및 의결하는 조직.
● 지산학협력위원회 : 권역 지자체, 산업체, 대학 등을 아우르는 대외적인 협력 및 상생 방안을 논의하기 위한 협의체.