반도체 공정 이론 교육 자료 (심화과정) 공유합니다.

*참고문헌:

1. Introduction to Microelectronic Fabrication, 2nd edition (Jaeger).

2. Berkeley Lecture Note(EE 290D) by Dr. Nuo Xu.

3. 부산대학교 전자공학과 반도체공학 강의자료 by Prof. Sungsik Lee.

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